Nicolet ECO - Analýza křemíku
Jedinečný, speciálně vyvinutý systém pro analýzu křemíkových komponent. Kompletní automatizace samozřejmostí!
Infračervený spektrometr řady X700 s nástavcem pro měření Si součástek
Doporučeno nejen pro následující aplikace:
- Obsah uhlíku a kyslíku v silikonu – procesní kontrola ve fotovoltaickém průmyslu
- Obsah intersticiálního uhlíku a kyslíku v plátcích křemíku
- Koncentrace dopantu v dielektrických filmech (BPSG, PSG, FSG, etc.)
- Obsah vodíku v tenkých vrstvách (filmech) silikon nitridů
- Tloušťka vrstvy Epitaxialu
- MEMS
Systém lze sestavit speciálně pro Vaše požadavky, a to nově na bázi FT-IR spektrometru Nicolet iS10, nebo spektrometrů řady iS50 (kombinace s Ramanovou spektroskopií!).