Nicolet ECO - Analýza křemíku

Jedinečný, speciálně vyvinutý systém pro analýzu křemíkových komponent. Kompletní automatizace samozřejmostí!

Infračervený spektrometr řady X700 s nástavcem pro měření Si součástek

Doporučeno nejen pro následující aplikace:

  • Obsah uhlíku a kyslíku v silikonu – procesní kontrola ve fotovoltaickém průmyslu
  • Obsah intersticiálního uhlíku a kyslíku v plátcích křemíku
  • Koncentrace dopantu v dielektrických filmech (BPSG, PSG, FSG, etc.)
  • Obsah vodíku v tenkých vrstvách (filmech) silikon nitridů
  • Tloušťka vrstvy Epitaxialu
  • MEMS

Systém lze sestavit speciálně pro Vaše požadavky, a to nově na bázi FT-IR spektrometru Nicolet iS10, nebo spektrometrů řady iS50 (kombinace s Ramanovou spektroskopií!).